| 알루미늄을 양극 산화시키면 산화된 알루미늄 표면에 규칙적으로 배열된 nanometer 크기의(30~100nm)의 구멍(pore)이 형성되는 알루미늄 기판 (Anodic Aluminum Oxide Template)을 만들 수 있다. 구멍간의 간격은 수십~수백 nanometer 정도이며, 구멍의 크기와 간격 및 깊이는 양극산화 조건(양극산화 전압, 산 용액 종류와 농도 및 온도 등)을 변화시켜 다양하게 조절이 가능하다. 이러한 AAO template는 nanotube나 nanowire등의 nano 구조를 만드는 틀로써 사용되며, AAO template 자체가 nano mask로도 활용될 수 있다. |
| nano물질 중에서 큰 기대를 모으고 있는 탄소나노튜브는 아직도 탄소나노튜브의 크기(길이나 굵기)나 밀도를 정밀하게 조절하는 것이 어렵다. 따라서 AAO template을 이용하여 탄소나노튜브를 합성하게 되면 AAO의 구멍의 직경과 배열을 따라서 탄소나노튜브의 크기를 다양하게 조절할 수 있으며, 이것은 field emitter tip이나 AFM tip 등의 나노 소자로 응용이 가능하다. |
| AAO template를 이용하여 nanowire를 제조하는 경우에는, AAO template의 구멍 속에 각종 물질을 채워 넣어 nanowire를 만든다. 또한 이것은 AAO template 구멍의 크기를 조절함으로써 nanowire의 굵기와 길이를 조절할 수 있다. nanowire에 사용되는 물질은 금속, 세라믹, 고분자류로 나뉘어진다. 금속 nanowire의 경우 전기도금(electro-deposition)를 이용하며 nanowire가 합성되어진다. 이렇게 만들어진 nanowire를 이용한 나노소자는, 초고집적 하드디스크, 고집적 메모리 소자, 각종 전자 소자 및 바이오 칩 소자로도 응용 될 수 있다. |
Fabrication order of the Anodic Aluminum Oxide(AAO) Template
| 규칙적이고 균일한 구멍을 가진 AAO template 제작을 위해 본 연구실에서는 two-step anodization 방법을 사용하고 있으며 각 실험 단계는 아래 그림과 같다. |
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SEM(Scanning Electron Microscopy) Data
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양극산화를 마친 AAO tempalte의 단면 이미지 |
Electro-deposition을 이용하여 AAO pore 안에 채워진 금속 |
AAO template를 사용하여 성장시킨 탄소나노튜브 |
