알루미늄을 양극 산화시키면 산화된 알루미늄 표면에 규칙적으로 배열된 nanometer 크기의(30~100nm)의 구멍(pore)이 형성되는 알루미늄 기판 (Anodic Aluminum Oxide Template)을 만들 수 있다. 구멍간의 간격은 수십~수백 nanometer 정도이며, 구멍의 크기와 간격 및 깊이는 양극산화 조건(양극산화 전압, 산 용액 종류와 농도 및 온도 등)을 변화시켜 다양하게 조절이 가능하다. 이러한 AAO template는 nanotube나 nanowire등의 nano 구조를 만드는 틀로써 사용되며, AAO template 자체가 nano mask로도 활용될 수 있다. |
nano물질 중에서 큰 기대를 모으고 있는 탄소나노튜브는 아직도 탄소나노튜브의 크기(길이나 굵기)나 밀도를 정밀하게 조절하는 것이 어렵다. 따라서 AAO template을 이용하여 탄소나노튜브를 합성하게 되면 AAO의 구멍의 직경과 배열을 따라서 탄소나노튜브의 크기를 다양하게 조절할 수 있으며, 이것은 field emitter tip이나 AFM tip 등의 나노 소자로 응용이 가능하다. |
AAO template를 이용하여 nanowire를 제조하는 경우에는, AAO template의 구멍 속에 각종 물질을 채워 넣어 nanowire를 만든다. 또한 이것은 AAO template 구멍의 크기를 조절함으로써 nanowire의 굵기와 길이를 조절할 수 있다. nanowire에 사용되는 물질은 금속, 세라믹, 고분자류로 나뉘어진다. 금속 nanowire의 경우 전기도금(electro-deposition)를 이용하며 nanowire가 합성되어진다. 이렇게 만들어진 nanowire를 이용한 나노소자는, 초고집적 하드디스크, 고집적 메모리 소자, 각종 전자 소자 및 바이오 칩 소자로도 응용 될 수 있다. |
Fabrication order of the Anodic Aluminum Oxide(AAO) Template
규칙적이고 균일한 구멍을 가진 AAO template 제작을 위해 본 연구실에서는 two-step anodization 방법을 사용하고 있으며 각 실험 단계는 아래 그림과 같다. |
SEM(Scanning Electron Microscopy) Data
양극산화를 마친 AAO tempalte의 단면 이미지 |
Electro-deposition을 이용하여 AAO pore 안에 채워진 금속 |
AAO template를 사용하여 성장시킨 탄소나노튜브 |
댓글 0
번호 | 제목 | 글쓴이 | 날짜 | 조회 수 |
---|---|---|---|---|
공지 | 회사 목록 | 모아레 | 2011.02.07 | 18148 |
공지 | 연락처 목록 | 모아레 | 2010.08.05 | 323 |
공지 | 유용한 사이트 | 모아레 | 2010.02.25 | 5620 |
공지 | 메모 정리 (미완) | 모아레 | 2009.10.30 | 236 |
공지 | 연구실 장비 목록 | 모아레 | 2009.09.30 | 840 |
공지 | 주문, 구입 리스트 | 모아레 | 2009.09.21 | 483 |
공지 | To do list, Short Memo | 모아레 | 2009.08.20 | 496 |
11 | 라만 측정의 이해 | 모아레 | 2010.05.10 | 1964 |
10 | Schottky Contact & Ohmic Contact | 모아레 | 2010.06.12 | 286 |
9 | Al2O3 etch | 모아레 | 2010.07.19 | 1649 |
8 | Network Analyzer | 모아레 | 2010.08.11 | 110 |
» | Anodic Aluminum Oxide(AAO) 연구 분야 | 모아레 | 2010.08.21 | 342 |
6 | (에소 머신을 위한) PID 장착 방법! | 모아레 | 2010.09.13 | 1361 |
5 | Introduction to Temperature Controllers | 모아레 | 2010.09.14 | 537 |
4 | Solution of an eigenfrequency problem | 모아레 | 2010.10.02 | 338 |
3 | Noise (in audio amplifiers) | 모아레 | 2010.10.08 | 452 |
2 | Piezoelectric materials | 모아레 | 2010.11.12 | 121 |
1 | 반도체 기초자료 - Lithography 등 | 모아레 | 2011.01.17 | 148 |