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2010.05.18 14:17

Ashing Test

모아레
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resist baking temp / height before ashing / height after ashing / change

 

A2, EL11 : EL = 2 : 3 coating

4000rpm

 

O2 3V, 10W 3min

150 236.8  103  133.8
180 204.2  146  58.2
200 303.9  202  101.9

 

O2 3V, 20W 3min

150 250   0     250
180 310   75    235
200 275   45    230  

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