메모 Ashing Test

모아레 2010.05.18 14:17 조회 수 : 112

resist baking temp / height before ashing / height after ashing / change

A2, EL11 : EL = 2 : 3 coating

4000rpm

O2 3V, 10W 3min

150 236.8 103 133.8
180 204.2 146 58.2
200 303.9 202 101.9

O2 3V, 20W 3min

150 250   0     250
180 310   75    235
200 275   45    230

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