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어디서 먼지들이 샘플에 다닥다닥붙는지 체크할것

by 모아레 posted Feb 20, 2010
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일요일이나 월요일에 이거 완료하고 지우삼.

 

SEM으로 각 단계마다 체크할 것

리프트오프 + 소닉 치고 SEM

RIE 치고 SEM

KOH + CPD쓰고 SEM

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