로그인

검색

자료
2010.01.26 00:27

SEM specification

조회 수 12724 추천 수 0 댓글 0
?

단축키

Prev이전 문서

Next다음 문서

크게 작게 위로 아래로 게시글 수정 내역 댓글로 가기 인쇄
?

단축키

Prev이전 문서

Next다음 문서

크게 작게 위로 아래로 게시글 수정 내역 댓글로 가기 인쇄

http://www.geos.ed.ac.uk/facilities/sem/specification.html

 

The SEM facility operates a Philips XL30CP with PGT Spirit X-ray analysis and HKL Channel5 Electron Backscatter Diffraction (EBSD) systems. The specification of the instrument is:

  • Electron Gun: A tungsten filament source produces a stable and high current electron beam, ideal for x-ray analysis as well as imaging.
  • Resolution: The resolution of the microscope is 3.5nm at 30kV using the secondary electron (SE) detector.
  • Backscatter: The backscatter (BSE) detector allows the imaging of specimens that have a mean atomic number difference of >0.1.
  • Cathodoluminescence: The Philips cathodoluminescence (CL) detector has a spectral response of 20%QE from 275 to 600nm.
  • Controlled pressure: The specimen chamber pressure may be controlled in the range from 0.1 to 1mBar, allowing the analysis and (BSE) imaging of insulators, hydrated samples or uncoated specimens without charging artifacts.
  • Stage: 50*50mm eucentric stage featuring motorised control of x, y, z and rotation.
  • The PGT Spirit EDS X-ray anlysis system allows qualitative and quantitative analysis as well as X-ray imaging of samples. The energy dispersive X-ray detector can detect elements heavier than and including Carbon.
  • The HKL Channel5 EBSD system enables the determination of crystallographic orientation data.
  • Images: All images may be stored using either a high resolution digital frame store (1404*968 or 702*484) or high resolution phototube. Digital (.tif) images may be exported to CD or USB memory stick. Output devices include a laser printer and a thermal video printer.
  • Operating System: All microscope, X-ray and EBSD analysis systems operate via a computer using the Windows operating system.
  • The Facility also has the necessary support equipment:

    • Sample preparation including impregnation, cutting, grinding and polishing equipment.
    • Carbon and Gold coating.
    • Reflected and transmitted light microscopes with photographic facilities for specimen documentation.
    • Optical cathodoluminescence microscope.
    • Black & White photographic developing and printing facilities.
    • Access to the Electron Microprobe Facility for quantitative major and minor element (0.01 wt%) analysis using either energy dispersive analysis or wavelength dispersive analysis.
    • Access to the Ion Microprobe Facility for isotopic and trace element (ppm) analysis.
?

List of Articles
번호 분류 제목 글쓴이 날짜 조회 수
공지 회사 목록 모아레 2011.02.07 19407
공지 메모 연락처 목록 모아레 2010.08.05 380
공지 메모 유용한 사이트 모아레 2010.02.25 5891
공지 메모 메모 정리 (미완) 모아레 2009.10.30 247
공지 메모 연구실 장비 목록 모아레 2009.09.30 943
공지 메모 주문, 구입 리스트 모아레 2009.09.21 551
공지 메모 To do list, Short Memo 모아레 2009.08.20 526
52 메모 메일서버 접속문제 해결 모아레 2009.09.25 152
51 자료 Litho 관련 용어 정리 모아레 2009.07.08 152
50 메모 pirahna solution 모아레 2010.09.01 153
49 메모 Etch rate of GaAs 모아레 2010.11.10 154
48 XML 강좌 모아레 2011.02.07 161
47 자료 레지스트 조사 모아레 2009.07.19 164
46 자료 반도체 기초자료 - Lithography 등 모아레 2011.01.17 170
45 자료 Cryo pump 원리 - 플래시 모아레 2010.05.07 174
44 메모 KPS 초록 모아레 2010.10.02 177
43 메모 연구실 연락처 모아레 2009.06.23 182
42 메모 ZnO Nanowire COMSOL Simulation 참고 모아레 2010.09.11 184
41 메모 Double Shuttle 제작 관련 모아레 2010.02.09 192
40 메모 컴퓨터 오류 모아레 2010.11.15 193
39 메모 Vacuum can 제작할 때 참고할 것. 모아레 2009.08.19 200
38 참고 사이트 모아레 2011.02.01 208
37 메모 견적서 내용 모아레 2009.08.03 228
36 메모 Nonlinear resonance 모아레 2010.11.30 250
35 자료 Device fabrication and measurement techniques 모아레 2010.01.31 283
34 자료 Circuit Quantum Electrodynamics 모아레 2009.08.07 298
33 논문 Synchronized Oscillation in Coupled Nanomechanical Oscillators - 심승보 모아레 2009.06.30 325
Board Pagination Prev 1 ... 2 3 4 ... 5 Next
/ 5