로그인

검색

Home
✔ 뷰어로 보기
메모
2010.01.25 21:50

BOE, Silox 에칭 테스트 과정

모아레
조회 수 3218 추천 수 0 댓글 0
?

단축키

Prev이전 문서

Next다음 문서

가 크게 작게 위로 아래로 게시글 수정 내역 댓글로 가기 인쇄
?

단축키

Prev이전 문서

Next다음 문서

가 크게 작게 위로 아래로 게시글 수정 내역 댓글로 가기 인쇄

Substrate : SiO2

 

1. HMDS, 4000rpm

2. Photo AZ5214, 4000rpm, 90℃ 1min bake

3. Cr Mask -> 8 sec

4. MIF  500 -> 1min

5. DI Rinse

6. BOE, silox etching

7. DI Rinse ( > 1min)

8. Remove PR by Aceton (> 20min)

 

Etch rate : 100nm / min

Who's 모아레

profile
Facebook Twitter Google Pinterest KakaoStory Band
위로 아래로 게시글 수정 내역 댓글로 가기 인쇄
에디터 선택하기
?
에디터 사용하기 닫기
  1. No Image notice by 모아레 2011/02/07 by 모아레
    Views 35991 

    회사 목록

  2. No Image notice by 모아레 2010/08/05 by 모아레
    in 메모
    Views 11601 

    연락처 목록

  3. No Image notice by 모아레 2010/02/25 by 모아레
    in 메모
    Views 21200 

    유용한 사이트

  4. No Image notice by 모아레 2009/10/30 by 모아레
    in 메모
    Views 7965 

    메모 정리 (미완)

  5. No Image notice by 모아레 2009/09/30 by 모아레
    in 메모
    Views 13335 

    연구실 장비 목록

  6. No Image notice by 모아레 2009/09/21 by 모아레
    in 메모
    Views 8292 

    주문, 구입 리스트

  7. No Image notice by 모아레 2009/08/20 by 모아레
    in 메모
    Views 10971 

    To do list, Short Memo

  8. 03Jan
    by 모아레
    2010/01/03 by 모아레
    in 기타
    Views 8561 

    [사람과 이야기] 방학을 잊은 교수들… "과학에 희망 있어요"

  9. No Image 04Jan
    by 모아레
    2010/01/04 by 모아레
    in 메모
    Views 2704 

    Vacuum Can Leak Problem

  10. No Image 11Jan
    by 모아레
    2010/01/11 by 모아레
    in 자료
    Views 3844 

    BOE(Buffered oxide etch)

  11. No Image 11Jan
    by 모아레
    2010/01/11 by 모아레
    in 자료
    Views 3316 

    Silox Vapox III

  12. No Image 13Jan
    by 모아레
    2010/01/13 by 모아레
    in 자료
    Views 2410 

    E-Beam Lithography 자료

  13. No Image 25Jan
    by 모아레
    2010/01/25 by 모아레
    in 메모
    Views 3218 

    BOE, Silox 에칭 테스트 과정

  14. No Image 25Jan
    by 모아레
    2010/01/25 by 모아레
    in 메모
    Views 2506 

    중전 Windows XP EN 시디키

  15. No Image 25Jan
    by 모아레
    2010/01/25 by 모아레
    in 논문
    Views 2434 

    Shuttle 관련 논문들

  16. No Image 26Jan
    by 모아레
    2010/01/26 by 모아레
    in 자료
    Views 22518 

    SEM specification

  17. No Image 26Jan
    by 모아레
    2010/01/26 by 모아레
    in 자료
    Views 2336 

    전자 부품

  18. No Image 31Jan
    by 모아레
    2010/01/31 by 모아레
    in 자료
    Views 3062 

    Coplanar Waveguide

  19. No Image 31Jan
    by 모아레
    2010/01/31 by 모아레
    in 자료
    Views 2839 

    Device fabrication and measurement techniques

  20. No Image 31Jan
    by 모아레
    2010/01/31 by 모아레
    in 자료
    Views 2030 

    Thermo-Electric Model of a VCSEL Die

  21. No Image 01Feb
    by 모아레
    2010/02/01 by 모아레
    in 메모
    Views 7155 

    반도체공동연구소(반공연) 공정접수 내용

  22. No Image 09Feb
    by 모아레
    2010/02/09 by 모아레
    in 메모
    Views 2814 

    Double Shuttle 제작 관련

  23. No Image 10Feb
    by 모아레
    2010/02/10 by 모아레
    in 메모
    Views 2766 

    윈도우2003 프린터 공유 문제 해결

  24. No Image 17Feb
    by 모아레
    2010/02/17 by 모아레
    in 메모
    Views 2845 

    MEMS 관련 PDF 문서

  25. No Image 20Feb
    by 모아레
    2010/02/20 by 모아레
    in 메모
    Views 4848 

    어디서 먼지들이 샘플에 다닥다닥붙는지 체크할것

  26. No Image 21Feb
    by 모아레
    2010/02/21 by 모아레
    in 메모
    Views 3058 

    Gordon Research Conference

  27. No Image 22Feb
    by 모아레
    2010/02/22 by 모아레
    in 메모
    Views 3410 

    Gordon conference activity 적은 것

쓰기
Board Pagination Prev 1 ... 2 3 4 ... 5 Next
/ 5

Sketchbook5, 스케치북5

Sketchbook5, 스케치북5

나눔글꼴 설치 안내


이 PC에는 나눔글꼴이 설치되어 있지 않습니다.

이 사이트를 나눔글꼴로 보기 위해서는
나눔글꼴을 설치해야 합니다.

나눔고딕 사이트로 가기

Sketchbook5, 스케치북5

Sketchbook5, 스케치북5