샘플 로딩하려고 매뉴얼모드 누르고 터치스크린 눌렀는데 안된다.
-> 로터리 펌프를 켜라! (맨 오른쪽)
크롬 올리려면?
프로그램버튼 눌러서 찾아들어감! 그런뒤 적절한 두께 설정
그뒤 스타트 왼쪽에 있는거(매뉴얼이었나?) 누르고 스타트버튼!
Lift off?
아세톤에 15분정도 넣은 뒤 꺼내서 다시 아세톤으로 뿌림.
추가 팁
SEM사용하여 패러데이컵 볼때 WD 4에서 잘 보이도록 위치조정
샘플 로딩하려고 매뉴얼모드 누르고 터치스크린 눌렀는데 안된다.
-> 로터리 펌프를 켜라! (맨 오른쪽)
크롬 올리려면?
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그뒤 스타트 왼쪽에 있는거(매뉴얼이었나?) 누르고 스타트버튼!
Lift off?
아세톤에 15분정도 넣은 뒤 꺼내서 다시 아세톤으로 뿌림.
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Coating, SEM 사용, Wet Etching 과정 정리
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