PMMA는 A2, A4, EL11 (아마도 905K )
http://www.microchem.com/products/pmma.htm
PR (AZ 5214, 5206)
TEXT Format
https://www.mff.ust.hk/mffdoc/safety/msds.htm
PDF Format
http://www.prism.princeton.edu/PRISM_cleanroom/MSDS.htm
스핀 코팅 RPM에 따른 두께, Bake 온도, developer, 제거하기 위해 사용하는 용액 조사
ZEP520A, PMMA, MMA, HSQ(XR-1541), ma-N 2403
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| 1 | 논문 | High-frequency micromechanicl resonators form aluminium-carbon nanotube nanolaminates | 모아레 | 2009.06.17 | 640 |